恭喜丁健芳老師指導碩士班R12畢業生楊翼同學、博士班D12劉承峰同學，在國際著名期刊《Applied Surface Science》(5-yr IF=6.3, Rank 2/21[9.5%] in MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS)上發表最新研究
"Laser-driven surface oxidation of 4H-SiC for tailored enhancement of machinability"
本研究運用雷射驅動的表面氧化技術改善 4H-SiC 的可加工性。藉由光纖雷射在材料表面誘發局部熱氧化，形成較低硬度的 SiO₂ 薄層，顯著降低原始表面強度。相較於超短脈衝雷射，此技術具備更低成本與更高維護性，適合大規模製造。研究中透過有限元素分析模擬雷射掃描的暫態熱行為，並結合機器學習建立加工參數與蝕刻深度、表面粗糙度之預測模型。結果顯示，雷射氧化處理能有效提升 4H-SiC 的後續加工效率，並減少研磨輪耗損，展現其在半導體製程上的應用潛力。
#機械系統 #雷射製程 #半導體製程